Контроль параметров среды в чистых помещениях

Контроль температуры

Контроль температуры осуществляется одним из двух способов:

• общий контроль;
• специализированный контроль.

Общий контроль

Применяется при:

• пуско-наладочных работах;
• аттестации чистого помещения (на каждом из этапов);
• эксплуатации чистого помещения.

Как указано в ГОСТ Р ИСО 14644-3, температура должна замеряться в каждой температурной зоне (в одной и более точек) на уровне нахождения рабочего места. Условия замеров температуры зависят от конкретного назначения чистого помещения. Длительность замера температуры составляет 5 минут или более, а запись показателя осуществляется через 1 минуту.

Специализированный контроль
Практичное применение специализированного контроля обусловлено особыми требованиями к параметрам температуры в чистом помещении. Здесь возможна проверка температуры пространственно в объеме помещения. Тест осуществляется после 1 часа с момента запуска системы вентиляции и кондиционирования, когда микроклимат в чистом помещении стабилизируется.

Рабочая зона должна быть поделена на равные секции в виде квадратов или прямоугольников. Количество точек замера температуры составляет три или более. Датчик, измеряющий температуру, устанавливается на уровне нахождения рабочего места на расстоянии минимум 30 см от стен, пола и потолка данного помещения.

Место установления датчиков определяется с учетом источников тепла. Таймер измерения составляет 5 минут или более, с фиксацией значения через 1 минуту.

Для контроля показателей температуры используют различные приборы, включая переносные и стационарные датчики, которые входят в состав системы слежения за параметрами чистого помещения.

Контроль влажности
Показатель влажности измеряется синхронно с замером температуры не ранее, чем стабилизируется микроклимат в чистом помещении (минимум, через 1 час после запуска системы вентиляции и кондиционирования).

Замеры должны быть проведены минимум в одной точке, влажность в которой должна соответствовать заданному показателю. Длительность измерения составляет не менее 5 минут.

Контроль проникновения загрязнений внутрь чистого помещения извне
Путем проведения данного теста определяется место проникновения воздуха из менее чистых помещений в помещения с высоким классом чистоты. Такие проникновения могут быть из-за наличия неплотных соединений, щелей в дверных проемах и т.д. Данный метод контроля актуален при проведении аттестации чистых помещений классов 1 ИСО – 5 ИСО.

Для замеров применяются следующие приборы:

• счетчик частиц;
• генератор аэрозолей.

При проведении замеров разница между концентрацией содержащихся в воздухе частиц в чистом и соседнем помещении должна составлять минимум 10³. А значение концентрации должно быть более 3,5х10⁶ частиц/м³. Данный показатель может быть, в случае необходимости, достигнут с применением генератора аэрозолей, который устанавливается в менее чистое помещение.

Во время теста замеры проводятся возле возможных мест проникновения загрязнений на расстоянии не более 50 мм от них со скоростью от 50мм/с со стороны чистого помещения. Для того чтобы оценить уровень проникновения загрязнений сквозь открытую дверь, можно применять метод визуализации, если это необходимо.

Тест на герметичность проводится, чаще всего, не для всех мест соединения, а для тех, где существует повышенный риск (например, прохождение оборудования сложной формы сквозь стену и т.п.). В качестве более конкретного примера можно привести чистые зоны с однонаправленным потоком, куда выходит лицевая панель оборудования, которое расположено в соседнем менее чистом помещении. В данной ситуации следует проверить на герметичность стыки между оборудованием и стеной.